4200A-SCS 参数分析仪
使用 4200A-SCS参数分析仪（参数测试仪）加快各类材料、半导体器件和先进工艺的开发，完成制程控制、可靠性分析和故障分析。4200A-SCS是业内性能领先电学特性参数分析仪，提供同步电流电压曲线测试 (I-V曲线测试)、电容-电压曲线测试 (C-V曲线测试) 和超快脉冲 I-V曲线测量。
特点
. 用于 DC IV、CV 和脉冲 IV 测量类型的高级测量硬件
. 自动实时参数提取、数据绘图、分析函数
. 可在 1 kHz 至 10 MHz 的频率下进行低噪声电容测量
. 测量电容、电导和导纳，内置飞法测量功能快速飞法电容测量
. 从 1kHz 到 10MHz 的 10,000 个频率步进
. 多路开关最多可测量四个通道
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性能指标 |
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型号 |
说明 |
主要测量 |
范围 |
测量分辨率 |
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4200-SMU |
中等功率源测量单元 |
DC I-V 超低频率 C-V 准静态 C-V |
±100 mA, ±210 V |
0.2 μV, 100 fA |
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4200-SMU |
高功率源测量单元 |
±1 A, ±210 V |
0.2 μV, 100 fA |
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4200-PA |
远程前端放大器模块 |
扩展SMU的电流范围1kHz-10 MHz |
0.2 μV, 10 aA |
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4210-CVU |
电容电压单元 |
AC 阻抗 C-V, C-f, C-t |
±30 V 内置DC 偏置装置(60 V 差分)；使用 SMU 扩展直流偏置电压至±210V |
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4200A-CVIV |
I-V/C-V多通道开关模块 |
DC I-V和C-V自动切换 |
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4225-PMU |
超快速脉冲测量单元 |
脉冲式 I-V SegmentARBR® 多电平脉冲 瞬态波形捕获 |
±40V(80Vp-p), ±800mA, 200MSa/s同时测量电流和电压, 2048个唯一段 |
75 nA |
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20ns 脉宽仅输出时 |
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60ns脉宽输出同时测流时 |
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4225-RPM |
远程前段放大器 /开关模块 |
DC I-V、C-V、脉冲I-V间自动切换 |
扩展 4225-PMU 单元的电流范围 |
200 pA |
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4220-PGU |
高压脉冲发生器单元 |
脉冲式电压源多电平脉冲 |
±40 V (80 Vp-p) 2048 个唯一段 |
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